主要用于半导体行业8~12寸晶圆研磨制程。系统设备配套不锈钢及高分子塑性材料管道系统，将混合后的研磨材料以安全、洁净、高效、稳定地输送至生产机台，以满足工艺生产需要，满足半导体行业内对研磨制程所需的研磨液的安全和洁净的高标准要求的特点；并拥有完全自主知识产权，稳定生产和强大的技术团队跟进售后服务的优势。