主要应用在半导体制造生产过程。气体监控系统和化学品监控系统在制造过程中及时发现泄漏，及时报警联动，自动切断泄漏源，提醒现场工作人员及时处理的极重要的角色；也是厂务生产管理重要工具，实时监控现场设备运行状态，报警提醒，历史记录查询，报表统计等功能的优势。同时还肩负机台要液信号和化学输送柜起停联动控制。